感 光 显 影 型 电 泳 抗 蚀 剂
PHOTOIMAGEABLE ELECTROPHRORETIC ETCHINGRESIST INK LPR-EP-200
感光显影型电泳抗蚀剂是一种通过电泳方法,在金属底材或已金属化了的塑料基材上沉积一层感光抗蚀膜,此感光膜经热风干燥后,通过菲林片感光显影,形成抗蚀刻保护图形。此工艺的独特之处在于:
(1) 它可以在复杂工件表面、非常均匀地沉积一层感光抗蚀膜,而液态感光抗蚀油墨一般只能在平面基材上印刷和蚀刻。因此感光显影型电泳抗蚀剂,可以用来蚀刻各种曲面形状的精密金属图案,如各种工艺品,曲面金属蚀刻版画。
(2) 比液态感光抗蚀油墨更环保。感光显影型电泳抗蚀剂以水作溶剂,无气味,无挥性有机溶剂,使用过程中对环境无污染。
(3) 图型分辨率更高。由于电泳感光膜比丝印感光膜更薄、更均匀,既使基材有少量缺陷,电泳层同样可以覆盖完全,附着牢度更优,对于精细图案,蚀刻成品率更高。
(4) 光致抗蚀电泳漆使用方便,无需添置昂贵的设备。
(5) 利用率高(95-99%)。
感光显影型电泳抗蚀剂的电泳工艺流程:
基板表面处理、除油—溶剂除油、化学除油
→水洗→除锈/用酸洗法除锈,加入少量缓蚀剂。
→水洗→磷化→水洗/纯净水→烘干/90-110℃
→电泳—工作漆液的不挥发分以10-15%为佳
→水洗→热风预干燥,70-90℃
→曝光(高压汞灯、金属卤素灯)
→显影(1%碳酸钠水溶液,温度25-30℃
→干燥90-110℃,5-10分
→蚀刻/电镀 化学腐蚀(酸性或碱性)
→去膜3-5%氢氧化钠水溶液
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